二手 KLA / TENCOR es20xp #9253037 待售
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KLA/TENCOR es20xp是一种用于半导体器件制造的先进的掩模和晶圆检测设备。它允许使用传统的检查技术检测到面罩和晶片中可能无法检测到的缺陷。KLA ES20 XP系统结合了先进的光学和软件来检测到纳米级的硅缺陷。此单元能够检查分辨率为5nm的晶片上的特征。利用明亮光源,TENCOR ES 20 XP有助于识别具有高对比度和无与伦比的可重复性的缺陷。此外，高级软件允许KLA/TENCOR ES 20 XP精确检测异物颗粒和缺陷。TENCOR es20xp利用光学显微镜技术。这样就可以清晰、放大晶片表面的视图,而无需透镜或其他光学元件。该机器包括一个自动对焦工具，允许用户快速调整焦点到晶圆的不同部分，以及一个自动增益资产，提高信噪比，以提供更高的对比度图像。可以将KLA es20xp设置为各种扫描模式。单发模式扫描整个晶片，同时还可以定义扫描区域和扫描字段。使用扫描区域,用户可以细化扫描并检查晶片上的特定位置,而在扫描字段中,可以同时检查晶片的几个不同区域。最后,热点模式只扫描具有高缺陷密度的区域。KLA/TENCOR ES20 XP可用于多种应用中。它可用于识别和校正模具粘合问题，检测缺陷或蒙版图样损坏，评估晶圆的表面形态。该模型可用于检测底切、短裤、空隙和划痕，以及碎片和故障部位。Es20xp是一种先进的掩模和晶圆检测设备，能够检测到纳米级的小缺陷和微粒。该系统提供晶片表面的高分辨率视图，允许快速准确的缺陷检测。有各种扫描模式，可以优化高缺陷密度区域的缺陷检测。KLA ES 20 XP是半导体器件制造商必不可少的工具,能够快速、可靠、准确地检查掩模和晶片。
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