二手 KLA / TENCOR eS25 #9249429 待售
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KLA/TENCOR eS25是一种创新的晶片和掩模检测设备,旨在识别、监测和分析半导体晶片和光掩模上的关键缺陷数据和粒子污染。该系统由电荷耦合器件(CCD)晶圆检测仪和四极散射资源成像(QSRI)掩模检测机两部分组成。CCD晶片检测工具利用高灵敏度光探测器检测晶片上非常小的缺陷和颗粒。该资产包括一个定制设计和集成的摄像头,具有彩色CCD成像和高精度光学。集成相机可应用精密算法检测晶圆上的颗粒等缺陷,消除误报。此外,该模型包括一个粒子识别设备,可以检测和精确表征粒子形状和大小。QSRI掩模检测系统还采用先进的成像技术检测光掩模上的缺陷。该单元利用具有高速扫描能力的四极散射计快速生成高质量的光掩模图像。此外,该机器还有一个专有的分析算法,可以测量光掩模上粒子缺陷的大小、形状和对比度。该工具能够探测到25纳米大小的粒子。KLA eS25是一种高级检查资产,旨在通过快速准确地检测缺陷和污染来确保客户晶片和掩模的质量。该模型利用CCD和QSRI成像技术,生成高质量的光掩模和晶片图像,可以进行分析以检测和识别缺陷。该设备能够探测到非常小的颗粒,尺寸可达25纳米,这有助于确保高质量产品的生产。
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