二手 KLA / TENCOR eS30 #9280537 待售
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ID: 9280537
优质的: 2004
Defect inspection system
Stage: X, Y, Z
ESC Interface
Piezo actuators
Faraday cup
Description / Part number
RENISHAW / HEIDENHAIN / P/N: RGH25U15M01C
Precision flatness 6061 aluminum base X, Y Mounting plate / P/N 730-21805-000 Rev BA
X-Axis / P/N: 740-21057-000 Rev EA
Y-Axis / P/N: 585-001-950 Rev D
Y Driver motors / Scales / X, Y Thermistors / Flags interface board 830-21063-000 Rev CB / P/N: 820-21063-000 Rev CB
X Driver interface board (X Flags J16, X Motor J17, Y Motor J3) 831-21062-000 Rev CB / P/N: 820-21062-000 Rev DB
High and low voltage wiring cables included
2004 vintage.
KLA/TENCOR eS30是一种用于生产和工程/研究环境的掩模和晶圆检验设备。它能够同时提供高精度测量临界层参数，如线宽和边缘位置。该系统基于KLA专有的OpticVision技术构建,具有3段BDI Laser、带FocusLens的激光扫描头组件和超高速数码相机。这些组件的组合为当今的高级生产和研究应用提供了前所未有的速度、灵活性和准确性。三段BDI激光器采用三束激光束，比传统的单激光器系统具有更高的通量和更好的性能。激光器是可单独调谐的,可实现广泛的测量速度,这为该单元提供了作为生产工具的特殊功能。激光扫描头组件使用大光圈FocusLens将激光束聚焦在非常小的特征上，并以非常低的表面不规则性检查到的特征。这提供了晶片表面的卓越覆盖，包括边缘和角，这可能是很难用一个单一的激光检查。KLA eS30还配备了超高速数码相机，能够以非常高的速度捕捉荧光图像，非常适合光学光刻应用。它还具有一个集成的高精度级，可以在一次扫描中从头到尾快速遍历晶圆或标线。而且，TENCOR eS30还具有自动离线测量功能，可用于快速标线或晶圆评估，也可用于自动化数据分析和记录。这台机器有一个功能强大的软件套件,具有测量、分析和报告功能,用户可以使用从eS30收集的数据快速评估其数据、生成报告和制作比较掩码。总体而言,KLA/TENCOR eS30提供了无与伦比的性能和准确性,使其成为满足各种晶圆和掩模检查需求的理想解决方桉。它结合了激光扫描头组件、超高速数码相机和自动离线测量功能,使其成为任何生产和/或工程/研究环境的理想选择。
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