二手 KLA / TENCOR eS31 #293606035 待售

KLA/TENCOR eS31是一种用于生产半导体器件的掩模和晶圆检测设备。它提供晶片级缺陷检查和整个晶片设备特性的监控。KLA eS31具有2D和3D成像功能,可检测晶圆表面的微观结构、光刻误差、工艺步骤、缺陷和颗粒污染。TENCOR eS31设计用于执行快速、准确的缺陷检测,每小时高达600晶圆的高吞吐量。它将KLA TrueFourier TM 3D成像技术与优化的源目标配置相结合,以捕获可以跨越多个掩码和晶片层的设备缺陷。这使得系统能够准确检测任何缺陷，即使它们发生在不同的层上。设备的高灵敏度允许它检测子段和段缺陷,以及启用边到边缺陷搜索。机器使用的算法可以检测掩码和晶片缺陷,收集到的数据可用于提供阵列前和图案后缺陷反馈,从而提高工艺性能。该工具还具有独特的晶圆映射技术，可以在整个晶圆上识别和分析单个晶圆。这提供了改进的缺陷覆盖范围和不同晶片之间的相关性，使操作员更容易识别问题区域。ES31还具有自动晶片处理资产,可一次处理多达四个晶片。该模型还包括一个现场测量平台，该平台提供实时数据和分析，以便及时进行流程优化和故障排除。KLA/TENCOR eS31是一种用于掩模和晶片检测的一站式解决方桉，提供快速、准确、全面的缺陷检测。它的自动化晶片处理功能使其能够快速检查大批量晶片,并且其全面的数据分析功能能够进行详细的缺陷分析和报告。KLA eS31集成了一系列高级成像和数据收集功能,可提供可靠、准确的缺陷检测、高效的设备操作以及改进的过程和产品性能。