二手 KLA / TENCOR eS31 #293610174 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 293610174
优质的: 2005
E-Beam inspection system
Loader unit
Console unit
Noise cut AVR
(2) Dry pumps
2005 vintage.
KLA/TENCOR eS31是一种先进的掩模和晶圆检测设备，为最高效率和精度而设计。该系统利用先进的高分辨率光学单元、先进的激光衍射技术和Advanced Motion Control TM,以高达10微米的分辨率提供高质量的图像。KLA eS31由几个子系统和组件组成,这些子系统和组件协同工作以提供最高的准确性和生产率。该机器包括层析成像单元、晶片检测阶段、显微镜目标、激光衍射工具、滑动阶段和自动晶片定位资产，以及高精度监视器。断层扫描装置具有高度先进的结构，旨在减少振动和增强成像稳定性。断层扫描设备采用先进的激光照明器、13英寸液晶显示器和焦点控制模型，以线性或圆形模式提供高达10微米的清晰和精确图像。晶圆检查阶段为带有精密机械手和滑动阶段设备的先进双臂相机架。它旨在提供晶片定位的最大精度,最小的漂移和应力,而显微镜目标即使在超高检测分辨率下也能提供最大的放大倍率。激光衍射系统在检查线缘粗糙度等特殊结构时提供最大精度，能够在0.1微米的线宽下校准至40微米。多轴机械臂的安装进一步提高了设备的精度和精确度，加快了生产速度，并导致更可靠的检测产量。TENCOR eS31还配备了高分辨率显示器，可精确查看高达10微米的图像。它具有一个大的，颜色编码的显示，它允许操作员精确调整他们的设置和快速分析他们的结果。ES31是理想的面膜和晶圆检验机器。其全面的功能集提供了最大的准确性和检查速度,确保了质量部件的快速、可靠和一致交付。
还没有评论