二手 KLA / TENCOR eS31 #293619038 待售

KLA/TENCOR eS31是为半导体工业设计的自动掩模和晶圆检测设备。该系统采用先进的2D和3D检测技术，准确检测先进半导体产品的缺陷。该单元使用自动缝合来创建模具表面的精确映射，并采用高级算法以高精度和可靠性检测缺陷。该机具有较高的通量检测率，能够每小时检测量高达1500个晶圆。KLA eS31工具由各种组件组成，包括高级光学、运动控制系统和图像处理算法。资产的光学元件包括电动物镜、远心照明、光学滤光片和偏振光源。这些光学器件用来制作质量和精度都比传统光学器件更高的图像。运动控制模型包括一个可以在六个不同轴上移动的六脚架运动阶段，使设备能够精确扫描模具表面。系统采用的图像处理算法采用先进的机器学习技术对模具表面的缺陷进行检测和分类。这些算法能够检测各种缺陷，包括空隙、粒子、断裂和地形误差。该单元还能够检测缺陷的位置和大小，以便进行最准确的缺陷分类。此外,机器能够输出带有分类注释的图像,以便进一步分析和查看。TENCOR eS31是进行精确可靠的掩模和晶片检测的先进可靠工具。它利用先进的光学、运动控制系统和图像处理算法，以高精度和可靠性检测模具表面的各种缺陷。该资产具有较高的吞吐率，适用于各种半导体应用。