二手 KLA / TENCOR eS31 #9203779 待售

KLA / TENCOR eS31
製造商
KLA / TENCOR
模型
eS31
ID: 9203779
Defect inspection system.
KLA/TENCOR eS31是一种高性能的掩模和晶圆检测设备,旨在提高产量。它确保为半导体工业生产质量更好的集成电路和光电器件。它提供了高度准确可靠的成像和测量能力,能够快速的质量控制和关键生产参数的测量。KLA eS31将KLA CCD(电荷耦合器件)技术与先进的图像处理算法结合到一个异常精确的系统中。单位执行各种检查任务,包括晶圆和标线(掩模)测量。它结合了定制照明机、复杂的成像算法和特殊的数据采集技术来测量极小的特征和变化。TENCOR eS 31独特的自动对焦功能提供了改进的聚焦范围,与传统的自动光学检查系统相比具有优势。它还实现了对各种表面特性(如粒度、粒度类型、地形和装配特征)的自动和最优数据采集。ES31提供了多种扫描和任务选项,使工具能够根据客户的具体需求进行设计和配置。资产可以配置各种附件,以满足各种需求,包括自动化电气测试系统、自动光学探测和对准系统以及独立的光学系统。KLA/TENCOR eS31提供了一系列不断变化的工具。此外,该模型与客户现有的生产系统无缝集成,最大限度地减少了额外的硬件需求。这有助于确保改进的可扩展性和更大的生产灵活性。设备的灵活软件允许收集多个数据点。该软件可以针对客户的需求量身定制,允许对各种缺陷进行检查和分析,包括标线、遮罩和晶片特性。该软件还可用于生成报告,对系统组件的质量和性能进行详细分析。总之,KLA eS31是一个高性能的面膜和晶圆检验装置,旨在提高产量。它非常精确,具有自动对焦功能和改进的对焦范围,并具有灵活的软件和多个数据点选择和报告选项。此外,它还与现有生产系统无缝集成,确保改进的可扩展性和更大的生产灵活性。
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