二手 KLA / TENCOR eS31 #9269700 待售

製造商
KLA / TENCOR
模型
eS31
ID: 9269700
E-Beam inspection system Upgraded Fixload V6 load port, 12".
KLA/TENCOR eS31是一种下一代的掩模和晶圆检测设备,设计用于大容量半导体生产过程。它具有先进的成像技术和软件,能够对掩模和晶片进行快速、准确和可靠的检查。KLA eS31系统基于自动扫描电子显微镜(SEM),配有集成光学显微镜进行光学检查。与前几代产品相比,它提供了更高的吞吐量和更好的图像质量。此外,它还提供快速吞吐量,目标速度为0.75标本/分钟。TENCOR eS31单元的图像传感器采用了专利的"电子脉冲成像"技术,以获取比传统SEM系统高8倍的信号强度。这样就能够以纳米分辨率对蒙版和晶片上的图样进行极高精度的分析。它旨在检测开路和短路,识别结构中的接触缺陷和其他像差。ES31台机器还具有强大的软件,能够识别半导体生产过程中使用的模式。例如,它可以在水平和垂直方向检测长线/短线,并且还具有边缘检测和缺陷检测算法,以高精度识别任何错误。由于其先进的算法,KLA/TENCOR eS31工具可以自动识别模式,减少了对操作员干预的需求。该资产还提供了一系列专门的接口,以连接到测试仪器,如AFM和RHEED。这样就可以详细分析层和层的相关性,从而使用户能够获得前所未有的准确性。此外,它的多语言支持(中文、英文、韩文、日文、德文和法文)使广泛的客户可以访问它。KLA eS31模型是各种半导体工艺的理想选择。它提供了一个具有成本效益的选项,以达到掩模和晶圆检验的最高精度标准。高度精确可靠的TENCOR eS31设备将彻底改变半导体生产过程,从而实现更快的吞吐量和更好的图像质量。
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