二手 KLA / TENCOR eS31 #9298886 待售

KLA/TENCOR eS31是一种高性能的掩模和晶圆检测设备,可满足客户对高精度和吞吐量的需求。它能够为各种半导体器件提供纳米级精度和前所未有的检测速度。KLA eS31采用具有闪电模块的KLA SLF光柱、标准化的HS统计背景和GS1扫描功能的优化光学设计。SLF光学设计在整个视图领域提供了出色的均匀性和图像质量。专利空气悬浮系统允许超过1 M Hz的高速扫描和纳米级分辨率。这样就可以快速、精确地检测到原本不会看到的缺陷。闪电模块提供4种红外线、紫外线和晶圆光学对比度组合,以最准确地检查设备上的任何特征。HS统计背景提供了样本和可信赖参考表面的带电信号之间的比较，确保了污染物和缺陷的可靠检测。GS1扫描功能允许检查12英寸至200毫米厚的半导体器件晶片。扫描最多可在4秒内覆盖40,000mm2。该单元还具有较高的自动化程度，以尽量减少处理需求。TENCOR eS31的软件具有多种特性，如；自动关联、群集算法、平面视图和自动视图。自相关和聚类算法允许同时比较晶圆正面和背面的多个数据集中所检测到的数据。平面视图有助于确定探测器强度和信号与背景的解释。自动视图允许生成包含蒙版、解压缩、扫描和摘要信息的单个视图。综上所述，来自TENCOR的eS31是一种提供纳米级精度和吞吐量的高性能掩模和晶圆检测机。KLA/TENCOR eS31具有先进的光学设计、获得专利的空气悬挂工具和用户友好的软件,是满足任何半导体制造需求的理想解决方桉。