二手 KLA / TENCOR eS31 #9300221 待售

KLA/TENCOR eS31是一种高性能、自动化的掩模和晶圆检测设备，设计用于检测电子器件中的丝毫缺陷，如半导体集成电路（IC）。KLA eS31使用数字成像技术捕获和分析掩模和晶圆表面的图像，以检测甚至最小的缺陷。系统可以检测在各种工艺步骤中被拒绝的歪斜线、颗粒污染或缺失模式。利用先进的自动图像处理算法,无需人工干预即可自动分析图像.分析包括测试模式的分类、掩模/晶片对齐以及检查所有掩模模式的关键特征。TENCOR eS31检测螺纹缺陷、非均匀性、相干和反转误差以及颗粒污染。eS31的一个独特特点是能够检查超低压（ULV）缺陷，其他系统无法实现完全检测。KLA/TENCOR eS31是通过显示器和鼠标操作的完全集成的高速单元。它提供极高的吞吐量，以高达每小时300晶圆的速度运行。该机器还具有直观的用户界面和高级菜单驱动的操作，以便于使用。KLA eS31能够测试各种模式、晶片和掩码。该工具采用最先进的检测技术，包括CCD摄像头、LED照明、摄像头控制器、控制台控制器、Robo-sys控制器和z-stage，将检测资产移到晶圆上方。它还提供高质量的后期处理功能,以准确检查缺陷大小和类型。该模型可升级以适应新的需求和技术。总体而言,TENCOR eS31是快速掩模和晶圆检测的理想选择.它将高速精密成像与高级缺陷检测功能相结合,以确保产品的制造达到最高标准。该设备易于设置和操作，能够检查各种面具和晶片。