二手 KLA / TENCOR eS32 #293665956 待售

KLA/TENCOR eS32是一种掩模和晶片检测设备，能够对各种应用类型进行缺陷检测和诊断。它结合了先进的光学光刻和成像技术来识别甚至最微妙的过程缺陷，例如那些由捕获的粒子或污染引起的缺陷。它的分辨率为0.5 µm，可以加工直径达200 mm的基板。它还由一套缺陷检测软件支持，旨在最大限度地提高效率，最大限度地减少遗漏的缺陷。KLA eS32能够在各种环境下进行检测,从而能够检测从高级光刻到光刻、直接氧等离子体灰化、湿蚀等各种应用中的缺陷。它有一个双望远镜系统，它可以在一次曝光中有效地检查网状和晶圆。它配备了9级、高分辨率的彩色成像单元和闭环晶片运动，用于精确的缺陷采样和精确的成像。该机器由KLA DataLink提供动力，KLA DataLink是一个单一的软件平台，通过整合同一边界内的检查和诊断功能为用户提供统一的体验。DataLink通过提供自动作业设置的无触摸工作流,旨在提高工作效率。此外,它的硬件无关体系结构针对无缝主机控制和数据交换进行了优化。TENCOR ES 32还配备了计量能力，通过集成计量硬件实现了广泛的测量。这包括CD-SEM和OVL自动匹配,以提高数据精度。它也经过预先校准，以尽量减少基线校准时间。此外,ES 32还具有多种生产力功能,包括易于使用的直观UI、用于快速报告的实时邮票、用于快速审核的多重缺陷事务以及用于定制体验的机载定制。此外,用户可以从一系列可选附件中进行选择,以便为任何应用程序定制eS32的实用程序。总体而言,TENCOR eS32是一种功能强大且用途广泛的掩码和晶片检查工具,能够在广泛的应用中执行高分辨率缺陷检测和诊断。它配备了自动化的作业设置和各种功能,以提高效率和生产率。凭借先进的技术和广泛的计量能力,KLA ES 32可以帮助减少遗漏的缺陷并确保最佳性能。