二手 KLA / TENCOR eS32 #9139567 待售
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ID: 9139567
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Electron-beam defect inspection (EBI) tool, 12"
2007 vintage.
KLA/TENCOR eS32是一种掩模和晶片检测设备,在分析纳米级的电介质、薄膜和其他结构时,可提供最高精度和精度。该系统使用最先进的光学和成像技术来检测和分析分辨率小至0.1um的缺陷。这种高分辨率图像使用户能够识别可能导致设备故障的小颗粒、颗粒和其他污染物。该单元配备了2个透镜,每个透镜都有不同的数值光圈,使其能够捕获晶圆的顶部视图和横截面视图。此外,KLA eS32包括近红外成像和波长滤波技术,以帮助识别和隔离传统光学显微镜可能看不见的缺陷。除了强大的成像能力外,TENCOR ES 32还为用户提供了自动缺陷分析、模式识别、颜色编码数据标注等一套软件功能,以进一步方便检测过程。该机还与广泛支持的行业标准兼容,包括SEMI E 10和MIL-STD-1275。ES 32旨在承受最严谨的环境。它采用轻巧、坚固耐用的铝合金外壳打造,旨在承受冲击和温度波动。该工具还具有用户定义的运动延迟功能,以确保资产在延长的观察或分析期间保持在同一位置。总之,eS32是市场上最强大、最可靠的显微镜工具和成像系统之一。高分辨率成像和强大的软件功能使其成为识别纳米级粒子、缺陷以及与处理或操作性能相关的其他问题的完美工具。
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