二手 KLA / TENCOR eS32 #9205645 待售

KLA/TENCOR eS32是一种功能强大的掩模和晶圆检测设备,可为要求最苛刻的半导体制造工艺提供实时缺陷检测。它具有突破性的性能,可以同时检查多达32个复杂的掩模或晶片。该系统的可变分辨率低至0.26微米，比之前的单元提高了四倍。这使得它能够检测到亚光学缺陷尺寸，这对于确保现代16纳米和20纳米半导体制造的产量至关重要。KLA eS32使用动态焦点模块（DFM）,它自动调整每一层检查的焦点。这提供了一流的图像清晰度,并消除了阶段校准不准确造成的问题。该机器还包含一个专有的Q-Detect算法，它允许它检测复杂的缺陷，否则这些缺陷将不被发现。这种复杂的算法在逻辑上结合了三种检测意识形态，以涵盖所有可能的缺陷类型。此外，TENCOR ES 32具有独特的图像捕获功能，可以一次捕捉整个晶圆。这增加了吞吐量并降低了缺陷逃逸的风险。此外，该工具还配备了High-Dynamic Range （HDR）图像处理器，可以轻松区分微观缺陷和特征特征，从而改进缺陷分类。KLA/TENCOR ES 32还利用KLA iQ技术优化检测性能。该技术采用机器学习算法自动调整检查操作，以检测困难缺陷。总之,KLA ES 32是先进的掩模和晶片检测的理想解决方桉.它提供卓越的性能,并提供多种功能,使其能够检测到最小的缺陷。它是半导体行业的理想工具，确保了最佳产量和最佳产品。