二手 KLA / TENCOR eS32 #9282549 待售

KLA/TENCOR eS32是一种用于深亚微米分辨率计量的掩模和晶圆检测设备，可实现精确的模式表征。KLA eS32具有先进的分析算法和基于足迹的光学系统的独特组合,能够捕获到最小级别的工件。TENCOR ES 32提供具有多种影像选项的3D影像系统。它配备了两个摄像机，四通道TENCOR eS32摄像机和五通道eS32-T摄像机。KLA ES 32相机可捕捉最大像素分辨率为1024 x 1024的图像,而ES 32-T的最大像素分辨率为2048 x 2048。该单元可用于多种模式应用，包括掩模检查、晶圆检查和迭加检查。KLA/TENCOR ES 32利用先进的成像技术，能够实现深亚微米的模式分辨率，能够检测到高达0.5 μ m的粒子。这种密集的模式分析由KLA/TENCOR eS 32的专有软件提供支持,该软件采用高级算法提供高分辨率分析。此外,KLA eS32还有一个集成的迭加机,能够以卓越的精度为标线、掩模和晶片提供迭加测量。TENCOR ES 32自带内置表面检测工具TENCOR eS32-SE。ES32-SE是一种完全集成的基于镜头的资产，它包含各种照明源，包括暗场和明场成像。该模型可用于检测晶圆和掩模表面有故障的颗粒、划痕、灰尘和其他污染物。KLA ES 32具有直观的图形用户界面和强大的软件平台。这使用户能够根据自己独特的应用要求快速轻松地定制设备。此外,系统能够自动调整到不同的晶圆大小,而无需手动干预。ES 32是当今先进技术超精细阵列应用的理想工具。KLA/TENCOR ES 32具有卓越的成像能力、自动化的对准单元和用户友好的界面,是一种高效的掩模和晶圆检测解决方桉,可用于深亚微观特征表征。