二手 KLA / TENCOR eS32 #9354572 待售

KLA/TENCOR eS32是一款先进的掩模和晶片检测设备,它利用独特设计的主动成像头和最新的成像传感器,提供更高的质量、更快的检测时间和更高的缺陷放置精度。该系统旨在提供业界领先的吞吐量、产量和临界维度（CD）精度,以解决最新芯片技术的快速增长需求。该单元的高级主动成像头包含两个安装在光学元件相对两侧的全宽2k x 2k摄像机传感器,以便在平行照明和阴影照明模式下同时进行2D成像。这提供了检测各种角度的缺陷和特征所需的成像和非成像功能,有助于降低返工成本。该机器还包括用于晶圆级CD控制的高级传感器和支持晶圆和先进包装技术公司的高分辨率平面场/连通性计量。增强焊料检查（ESI）功能旨在识别晶片和基板上的焊料空隙,精度不超过1%。KLA eS32采用了最新的高分辨率成像技术,使其能够以每秒1到4张图像的速度在所有产品类型中捕获256 x 256像素图像（单面和多面配置）,从而实现最佳吞吐量和较小的占地面积。该工具还支持3D重构和纹理识别，允许高度精确地自动进行缺陷分类和平整，并且作为基于规则的检验资产，可以轻松配置为遵守各种客户程序和标准。此外，TENCOR ES 32能够扫描大面积晶片，通过检测比标准光学系统更多类型的缺陷来提高质量和产量。结合先进的高分辨率传感器、重构和纹理识别算法，采用基于规则的检测方法，提供高精度检测能力，导致缺陷检测率高、吞吐量高。该模型快速准确，使其能够在晶片或芯片投产前快速评估其质量。