二手 KLA / TENCOR eS32 #9387246 待售
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ID: 9387246
优质的: 2006
Electron-Beam Defect Inspection (EBI) system
Scan boards missing
2006 vintage.
KLA/TENCOR eS32是一种先进的、技术先进的掩模和晶片检测（MWI）设备，利用高分辨率、高速检测系统最大限度地提高单位吞吐量和每个样品所花费的时间。这台机器具有自动化的五轴直线电机成像功能,可实现自动样品加载和优化,确保高效、准确地检查所有样品。自动化的样品控制确保样品不会被误载或处理不当，从而消除人为错误并导致更高质量的检查程序。KLA eS32具有先进的处理能力，包括强大的实时分析和专门的基于算法的感知缺陷识别，可用于检测半导体器件中的表面和地下缺陷及其特征。MWI工具还配备了一个全场照明资产，旨在揭示所检查样品的更详细信息。集成照明模型与自动化工艺阶段配合使用,在各种不同的设备基板上提供一致的精度水平。此外，该设备还能够高速成像整个晶片，节省时间和精力，同时提供超高分辨率的数字图像用于缺陷审查和分析。该系统还配备了先进的数据分析技术，能够识别以前未被注意到的特征，以及一致的缺陷识别和分类。TENCOR ES 32优越的成像能力和先进的数据分析是确保掩模和晶圆检测精确进行的关键组成部分。自动化样品加载、超高分辨率成像和高级数据分析相结合,可确保客户获得最大的吞吐量和优异的效果。结合其高端组件,如超高分辨率成像技术和整体照明设备,使其在MWI领域处于业界领先地位。
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