二手 KLA / TENCOR eS32 #9398361 待售

KLA/TENCOR eS32是一种用于检查半导体掩模和晶片的自动化光学检查设备。它具有10微米的成像分辨率,能够检测各种缺陷,包括临界尺寸（CD）、线宽变化、错位、划痕、针孔、颗粒、污渍和其他过程引起的缺陷。KLA eS32支持亮场和暗场成像,使用户能够检测透明和不透明表面上的最小缺陷。TENCOR ES 32的先进、高分辨率相机配备了500万像素传感器和16mm双镜头设计，能够最大限度地准确检测各种基板上的微小特征。相机能够以高达每秒100帧的速度捕捉图像，并用超短脉冲激光曝光晶圆，从而显着减少模煳。此外,KLA ES 32的多种检查模式,包括亮场、暗场和组合明场-暗场,为用户提供全面的缺陷覆盖。除了强大的成像能力外，KLA/TENCOR ES 32还具备几项先进的智能功能。其中包括用于优化缺陷检测精度的内置图像分析算法和用于自动、可靠图像聚焦的专有自动散焦校正系统。该设备的用户界面直观、用户友好,具有触摸敏感的显示器,可轻松检查图像和快速分析数据。ES32建立在模块化平台上,使用户能够定制机器以满足其特定的半导体检查需求。其高度精确、低调的视觉系统能够执行高速检查和扫描测量任务。此外,该工具的高级算法和严格公差改善了视觉检测,减少了停机时间,并提供了稳定、可靠的检查体验。总体而言，TENCOR eS32是半导体掩模和晶圆的绝佳自动光学检测资产，凭借其先进的成像技术、智能功能和可定制的模块化平台。其设计允许快速可靠的缺陷检测，最大限度地提高产量和产品质量。