二手 KLA / TENCOR eS32 #9412413 待售

KLA/TENCOR eS32是专门为半导体制造商设计的掩模和晶圆检测设备。它能够检查构成掩模和晶片电子元件的复杂图桉设计。该系统能够对掩模和晶片执行高分辨率检查,分辨率小于0.1 um。此外，该装置的设计高度灵活，支持晶圆级和顶层检查。机器通过将掩模或晶片暴露于光源并使用高级成像工具对其成像来操作。此资产能够以小于0.1um的分辨率检测客户端的设计功能。它还能够对每个周期最多16个站点进行现场检查。这使产品能够快速、高精度地进行检查,并保持符合行业标准。此外，该型号设计为用户友好，具有高度的定制。该过程从暴露前检查开始。在此步骤中,将根据所需的产品设置成像设备的参数。这包括调整图像分辨率、图像配准、对比度等参数。一旦曝光前检查完成，面罩或晶片就暴露在检验光源和拍摄的图像中。然后,系统使用专门的算法将产品的设计特征与预期的设计特征进行比较。检测到的任何差异都会向用户突出显示,从而可以快速高效地进行检查。最后,该单元提供曝光后分析,使用户能够深入查看检测到的任何问题或差异的细目。此外，机器还收集了检查进度的综合数据日志。这包括缺陷数量及其位置等信息。这些功能便于追踪和完整的检查记录。KLA eS32掩模和晶片检查工具是一种独特的解决方桉,可提供高分辨率的成像、快速的检查时间和可定制的功能。此资产使制造商能够快速准确地检查其产品,使其符合行业标准。