二手 KLA / TENCOR eS35 #9225299 待售
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ID: 9225299
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
E-Beam inspection system, 12"
EFEM
UI
Power box
IPDU
2010 vintage.
KLA/TENCOR eS35是为高端半导体制造设计的掩模和晶圆检测设备。它使用光学、电气和机械传感器的组合来检测蒙版和晶片表面的缺陷和缺陷。KLA eS35使用五项专利技术来准确检测和识别潜在缺陷，并且可以收集每秒多达1000个样本站点的数据。该系统采用基于高分辨率激光和相机的集成掩模和晶圆成像单元。此机器捕获图像数据,然后由高性能计算机工具进行处理和分析。资产可以检测到第四纪图样区域、坑、裂缝、灰尘、污垢以及掩模和晶片上的颗粒残留物等特征。TENCOR ES 35利用专利的"离轴技术"检测缺陷。该模型采用独特的离轴成像技术，使设备能够更准确地检测掩模和晶片表面的缺陷。它能够测量微米级缺陷，而这些缺陷在传统系统中往往没有被注意到。系统创建样本曲面的3D轮廓,从而可以检测到最小的缺陷。ES 35配备了复杂的缺陷分类算法。该单元能够将缺陷归类为临界或非临界缺陷，也能够根据大小、形状、位置、共面性和污染对缺陷进行分类。该机器还具有先进的学习算法，可以根据过去的检查结果自动学习。TENCOR eS35有一个高级操作员界面，使用户能够自定义检查参数、查看实时图像、图形、DICE报告等。该工具还与行业标准通信协议兼容，允许在线集成到现有半导体生产系统中。总体而言，eS35是一种强大而可靠的资产，旨在准确、快速地识别和分类掩模和晶片表面的缺陷。该模型具有高度可配置性,但易于使用,对于那些希望在不影响质量的情况下降低成本的用户来说,它是一个绝佳的选择。
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