二手 KLA / TENCOR eS35 #9236715 待售

KLA/TENCOR eS35是一种先进的掩模和晶片检测设备，旨在检测和纠正半导体掩模和晶片上的关键缺陷。KLA eS35提供了卓越的灵活性和速度,使其能够做出快速、准确的决策,而不会带来产量或精度的风险。这一集成成像解决方桉结合了高功率激光源、图像校正算法和先进缺陷管理软件，为半导体行业提供了全面的检测系统。在其核心，TENCOR ES 35由一个大面积、高解析度的空中影像感应器、一个光学单元、一个集成的激光源和一个先进的缺陷修正算法组成。激光源发出强烈的光束，被被检查的晶片或掩模反射。该光束由高分辨率航空图像传感器检测，并通过光学机器运行。光学工具允许对遮罩或晶片的形状和表面地形进行极其精确的测量。然后使用缺陷校正算法将图像数据与参考图像进行比较，并识别和纠正任何错误。TENCOR eS35能够检测到低至0.004微米的缺陷,并且可以从给定的掩模或晶片测量多达10个不同的层。这是使用卓越的信噪比和较高的动态范围来完成的,从而获得卓越的图像质量。ES35配备了全自动过程监控资产,可以在早期验证掩码或晶片的设计,并监控处理过程中可能发生的任何更改。KLA ES 35也可用于测量面罩或晶片上肉眼看不见的特定特征。它能够测量小至0.008微米的特征，也能检测到人眼看不见的缺陷。这包括但不限于可能由污染、非均匀接触、接线故障等引起的缺陷。ES 35还为用户提供了一系列生产力工具，如缺陷跟踪、晶圆管理和数字缺陷库。所有这些都在验证过程中特别有用，确保掩模和晶片通过质量保证和产品完整性标准。总体而言，KLA/TENCOR ES 35是半导体行业质量保证的宝贵工具，是任何制造工艺的绝佳补充。通过结合高功率激光源、高分辨率空中成像和先进的缺陷校正算法，提供了无与伦比的精度和速度的集成成像解决方桉。