二手 KLA / TENCOR eS35 #9379821 待售

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製造商
KLA / TENCOR
模型
eS35
ID: 9379821
晶圆大小: 12"
E-Beam inspection system, 12".
KLA/TENCOR eS35是一种综合性的掩模和晶圆检验解决方桉,旨在帮助半导体制造商提高其生产工艺。利用最新的集成光学、晶片分析和成像技术,KLA eS35提供了缺陷点和掩模下方密集阵列级别的高分辨率3D图像。TENCOR ES 35具有先进的广域图像采集设备和自动晶圆传输平台,可快速扫描、检查和检测单个图像中的打印缺陷。系统独特的像素映射过程使用户能够快速找到单个大缺陷或多个重复出现的缺陷。该单元配备了一系列旨在提高生产力和准确性的软件工具。3D eS-Scan功能支持深层子层成像,并允许查看埋在半导体产品深处的特征。此工具可以识别与模具故障相关的缺陷,并提高阵列缺陷检查的分辨率。该机器还提供了一系列客观评估标准,使检测和分类缺陷变得更加容易。它还具有自动化过程的自动化模板,从而更容易检测复杂的结构特征。该工具还具有一个统计模块,允许用户监测流程资源和分析缺陷趋势。数据分析使用功能强大的应用程序库执行,该库能够共享和比较来自多个设备的数据。eS-Quad功能为用户提供平面和非平面角度视图,以检查即使是最难以检查的区域中的缺陷。ES35是一种可靠、快速、高效的掩模和晶圆检测解决方桉,可提供高质量的解决方桉。凭借其先进的成像功能和自动化,TENCOR eS35使制造商能够显着减少检查和检测半导体产品缺陷所需的时间。
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