二手 KLA / TENCOR ES35D #9254833 待售

KLA/TENCOR ES35D是用于半导体制造设施的掩模和晶圆检测设备的独特组合。该工具有助于检测芯片制造中使用的图像和晶片的微观缺陷。它具有一个检查区域,可容纳356 mm x 438 mm的掩模尺寸和508 mm的晶圆尺寸。该系统使用专利的低反向散射激光学习传感器（L3S）技术来识别图像和晶片上的缺陷。该技术在检测缺陷时提供了极高的灵敏度和准确性，可以检测颗粒污染物和布局缺陷。它还能检测到亚微米级的缺陷，小至0.05微米，并能以高精度检测缺陷。该单元由前端和后端两部分组成。在前端，机器利用多通道光学与可变变焦镜头提供高分辨率图像。该工具捕获的图像可以实时处理，允许用户同时有效地检查多个晶圆和掩码。在后端,资产可以标记图像分析（IA）测量和关键的整体缺陷检查,以查明潜在缺陷的位置。它还提供了模式匹配和形状识别功能,以识别需要无缺陷晶片或掩码的位置。模型可以将图像导出到其他位置或将检查数据保存在数据库中。KLA ES35D旨在将误报级别降至最低并提高生产吞吐量。该设备还具有若干自动化功能，可提高检查速度和准确性，并减少人工检查时间。其先进的模式识别技术有助于识别和分析粒子的位置和布局缺陷。总体而言，TENCOR ES35D是用于各种高分辨率图像和晶圆检测任务的先进可靠工具。专为提高制造速度和精度而设计。其激光学习传感器（L3S）技术，加上专用的后端功能，使其成为一个极为有用的系统，可满足广泛的半导体生产需求。