二手 KLA / TENCOR eS37L #9232829 待售

KLA/TENCOR eS37L是一种用于检测半导体制造过程中使用的光刻面膜和晶片的物理缺陷的掩模和晶片检测设备。它能够检测小至45 nm的超小型缺陷。它具有很大的视场，使它能够同时成像30多个晶圆或掩码，每秒扫描多达140个扫描场。此外,系统具有很高的适应性,因为它可以重新配置以满足特定的自定义检测需求,以满足不断变化的流程需求。KLA eS37L单元使用先进的成像技术来识别、分类和检测口罩和晶片上的缺陷。这是通过众多光学元件实现的，包括精确透镜和光源。它还结合了专有的KLA技术，包括专利ARCSharp™孔径技术和TeleSight™信号处理算法。ARCSharp™技术利用四象限扫描体系结构来提高成像和缺陷检测性能。然后,机器分析图像以确定缺陷的形状和大小,并确定晶圆或掩码上的位置。TENCOR eS37L工具具有高级软件,允许自动缺陷分类和审查。它还具有一套全面的报告，能够对检查结果进行详细分析。此外，资产是完全自动化的，并与现有的自动化设备集成在一起，如晶圆分选机、输送机系统、轨道和跟踪系统。此集成有助于确保以最高效的方式使用模型。ES37L设备是有效准确检测半导体制造过程中使用的掩模和晶片缺陷的重要工具。其先进的成像技术、自动化缺陷分类和全面的报告功能使缺陷检测和分析能够快速准确,从而能够检测微小的物理缺陷。此外,它的软件集成功能有助于确保系统以高效的方式使用。KLA/TENCOR eS37L装置是一种可靠、高效的掩模和晶片检测机.