二手 KLA / TENCOR eS805 #293641968 待售

KLA/TENCOR eS805掩模和晶圆检测系统为当今半导体生产线的缺陷、工艺、计量掩模和晶圆检测提供了卓越的性能和可靠性。KLA eS805使开发、表征、调试和生产控制能够满足高级流程节点的严格要求。TENCOR eS805结合了先进的串联过程控制技术,包括SEM映像和卓越的多元分析功能,使客户能够灵活地开发自己的配方或利用工厂提供的配方来正确检查设备。利用其具有高效引擎优化和可调参数的量子算法处理器（QAP），可以解决各种过程控制难题。eS805专为灵活配置而设计,具有几种可现场升级的选项,例如选择晶圆尺寸以提高工作效率、选择高分辨率SEM （HR-SEM）以提高图像质量,以及选择用于超大型覆盖区域的高功率激光。KLA/TENCOR eS805还支持多种外围设备,包括多区域投影目标（MZPO）以提高各个批次的均匀性,以及侧面照明的侧视图检测器。KLA eS805还提供了一套广泛的软件实用程序,使客户能够轻松监控产量,建立产品的可追踪性,并快速识别流程问题。Traceability Enhancement Tool （TET）允许监视跨多个晶圆、源和批次的粒子演化。符合人体工程学的高级MOTIF™用户界面具有用于处理和显示检查结果的高级算法,包括按需视图、统计信息和显示。该系统还具有离线审查和分析功能。TENCOR eS805旨在完成广泛的检查任务,同时提供更高的过程控制性能和数据吞吐量。凭借其高分辨率的成像、先进的光学系统以及精密的图像处理和计量工具，eS805是各种晶圆和掩模检查应用的理想选择。