二手 KLA / TENCOR EV300 #293637905 待售

KLA/TENCOR EV300是为半导体晶圆制造行业设计的先进的掩模和晶圆检测设备。它提供高速、高精度的缺陷检测，使用户能够快速检测潜在缺陷，如划痕、颗粒和污染。该系统采用了激光曝光时间长、高端光学系统、焦点变化等先进技术的组合。其先进的光学和空气轴承级确保该单元运行无错误，而其寿命长的激光器使其能够进行长期、成本效益高的检查。KLA EV 300能够检测小至测量像素大小的三分之一的缺陷,该像素大小为0.05微米-大约是人体空气大小的一半。通过利用其专有的检查算法，机器还能够检测到诸如粒子、静电放电（ESD）损伤、暴露于光线和其他环境元素等缺陷。此外，该工具还能够检测由于激光照明不规则而导致的遮罩特征的波动和缺陷。此外,该资产还具有直观的用户界面,并且能够提供针对缺陷的技术。这项技术增强了检查员快速准确检查晶片特性的能力。该模型具有较高的吞吐量,可提供快速的缺陷分析和审查.它还配备了晶片点阵和对准系统，检测晶片制造中的不规则性和缺陷。此外，TENCOR EV-300提供了可选的污染物监测设备，执行非接触缺陷分类，以及污染边缘检测和颗粒验证。这确保了系统能够区分实际污染物和正常污染物。最后,EV300单元具有很高的准确性和可重复性,可提供最低限度的维护和成本节约。机器的所有部件都非常可靠,并有保修作为后盾。为确保取得最佳效果，该工具由一个独立的测试实验室进行测试和认证。TENCOR EV 300具有强大的特性和可靠性,是检测和定位掩码和晶圆制造缺陷临界度的理想解决方桉。