二手 KLA / TENCOR EV300 #9399037 待售

KLA/TENCOR EV300是一种先进的掩模和晶片检测设备，旨在检测、表征和纠正各种缺陷。该系统结合高分辨率光学成像、可编程缺陷审查、缺陷避免和校正自动化技术，提供卓越的晶圆检测性能。该装置的光学成像技术能够检测小至0.25微米的缺陷。这台高度灵敏的成像机针对掩模和晶片图样的检查进行了优化，允许高度精确的检查结果。该工具的可编程缺陷审查工具能够自动检测和分类各种缺陷。该工具被编程为检测和分类移位、模煳、缝合和OPC缺陷等类型。该资产还采用了避免缺陷技术，在检查和纠正检测到的缺陷时减少误报数量。KLA EV 300还包括先进的矫正自动化技术。此技术用于自动执行校正操作,例如阵列定位、重新定向和清洁。此校正过程经过优化,以确保不遗漏任何缺陷或无人看管。该模型还具有安全的通信接口，便于设备组件之间交换数据。这允许集成其他KLA系统,例如SEMVision TM套件和ALINX自动缺陷审查系统。TENCOR EV-300单元设计为提供最高级别的晶圆和掩模检测性能,确保设备无缺陷并准备生产。这台机器因此适合用于研究和工业生产环境。