二手 KLA / TENCOR FLX-5200 #9148242 待售

KLA/TENCOR FLX-5200是一种掩模和晶圆检测设备,它提供先进的成像和数据分析功能,以确定微缺陷和其他类型的污染物。它是一个有价值的工具，用于识别可能损害晶圆或掩模完整性的表面和地下层面的问题。KLA FLX-5200检查系统的主要目的是检测和表征样品上的缺陷和污染物,如已安装的晶片、光掩模、掩模和标线。该设备专门用于检查尺寸在25 nm至6 μ m之间的模式,使其成为各种微电子制造工艺的理想选择。TENCOR FLX 5200利用高级成像和分析功能,在整个检查过程中提供有意义的数据。通过三通和四通成像（包括白色、紫外线（UV）和光学节点的溷合）,从设备的各个侧面收集数据-从上向下、由内向外、横向、向后等。然后以自动化的方式对这些数据进行分析和报告，提供被检查物体的高效和准确的图片。KLA/TENCOR FLX 5200还具有超高分辨率成像和增强的聚焦功能,允许用户放大和检查晶圆表面的微小细节。这是在纳米级识别颗粒和其他污染物的理想选择。为了进一步加强检查过程，机器包括自动对准和测量，说明表面和基板上的特征。该工具还配备了直观的操作员界面和先进的成像技术。这种组合使得设置资产、捕获数据和生成可操作的报告变得简单。简而言之,FLX-5200是一种尖端的掩模和晶片检查模型,它提供高速成像、自动测量、直观控制和增强的聚焦功能,以便对各种基材中的缺陷和污染物进行可靠的检测和表征。它是确保微电子制造的准确性和质量控制的宝贵工具。