二手 KLA / TENCOR FLX-5400 #9088894 待售

KLA/TENCOR FLX-5400是一种掩模和晶圆检测设备，用于检测和表征半导体器件中存在的制造缺陷。这个强大的系统结合了先进的晶圆检测技术和强大、万无一失的软件接口，确保了质量最高的半导体器件。KLA FLX-5400有一个可自定义的视场（FOV）,使用户可以更改检查区域的大小和设备的校准。这允许用户根据自己的特定要求量身定制FOV，还提供了检查非常小的缺陷或较大功能的灵活性。机器还能够在整个检查过程中改变视场，以防止视场异常导致误报。TENCOR FLX 5400的核心是一个高功率的检测子系统，它由四个先进的CCD传感器组成，这些传感器执行一种特殊的图样照明技术，称为Moiré条纹投影。这种先进的技术用于检测地形中的微小变化，而传统的基于光学的方法是看不到的。TENCOR FLX-5400还利用这些先进的CCD传感器自动对准晶片进行最佳特征检测，并提供强大的边缘检测算法，让用户能够检测到细微的边缘变化。该工具还具有一系列确保高精度缺陷检测和图像增强的功能。这些特点包括图像重构技术，纠正非均匀照明，增加缺陷检测能力的三维特征检测算法，以及在测量缺陷时提供逼真分辨率的集成缺陷审查资产。此外,KLA FLX 5400还提供了用户友好的软件界面,减少了培训和设备设置时间。直观的图形用户界面（GUI）指导用户完成设置过程,包括检查参数设置、图层分配和图像调整。其强大的软件套件还包括功能强大的FLX软件工具，如自动缺陷分类、错误缺陷减少以及模式验证工具。综上所述，KLA/TENCOR FLX 5400是一款先进的掩模和晶圆检测模型，结合了先进的基于光学的缺陷检测技术和先进的检测功能以及直观的软件界面，为用户提供了维护最高质量半导体器件的强大工具。