二手 KLA / TENCOR FLX-5400 #9118978 待售

KLA/TENCOR FLX-5400是一种高性能的掩模和晶圆检测设备，利用前沿检测技术提供准确可靠的缺陷检测和分类。该系统的设计既能适应大容量晶圆制造环境，又能适应掩模制造环境。KLA FLX-5400是由光学检测模块和散焦检测模块组成的双场单元。光学模块包含一个用于照明和光学图像采集的超高速LED阵列，设计用于检查特征图样。散焦检测模块利用先进的光学透镜机检测晶片结构中极小的缺陷。TENCOR FLX 5400设计为提供高通量-即使检查了大量晶圆。该工具同时配备了高速扫描头和高容量数据处理器，从而允许灵活高效的半导体制造工艺。资产能够检测到低至0.5微米（μ米）的缺陷。KLA/TENCOR FLX 5400带有粒状缺陷分类功能。此功能允许模型将检测到的缺陷分组为多个类,以便于检查后分析。此外,还对设备的软件算法进行了调整,以提高缺陷报告的准确性。TENCOR FLX-5400允许自动化系统校准,并提供与网络连接的远程监视功能。这个单元还提供了一个综合的整体机器分析工具，用于全面的晶圆分析和报告。在软件方面,FLX 5400具有强大的高级分析工具,用于高级缺陷表征和计量。此外,用户友好的软件界面还通过触摸屏操作、基于图标的菜单结构和功能强大的后端数据库等功能增强了用户体验。FLX-5400具有多语言用户支持和全局访问能力,是全球掩码和晶圆检查的绝佳选择。此工具符合多个规范标准,包括SEMI标准,因此用户可以信任其可靠性。总体而言,KLA FLX 5400是一种强大而精确的掩模和晶圆检测资产,有助于确保半导体制造过程中的质量。KLA/TENCOR FLX-5400具有自动模型校准、缺陷分类和经济高效的操作等强大功能,是晶圆和掩模检测应用的绝佳选择。