二手 KLA / TENCOR FRJ CHANGER ASSY #9292415 待售

KLA/TENCOR FRJ CHANGER ASSY是一种全自动掩模和晶圆检测设备,旨在满足高效生产高度复杂集成电路的最苛刻要求。该系统围绕一个模块化的双臂机器人处理单元构建,该单元可实现多个工作流（一次只有一个作业）和一个由机器人控制的卡带更换器,用于在过程模块之间加载、卸载和更换口罩和晶片。这样可以确保最小的延迟和高吞吐量,即使在密密麻麻的车间中也是如此。机器人使用的夹子设计方便，快速装卸口罩和晶片。该机还配备了详细的用户界面，用于掩模-晶圆交叉引用、对准和检查。直观的工具界面旨在直观地将任务导航到操作员。它还提供了整个资产布局、使用的设备和流程以及质量保证报告的详细图像。该模型还配备了综合视觉设备，提供快速、准确的即时测量以及对掩模和晶片的检查。这有助于降低流程风险并提高流程产量。底层流程自动化体系结构针对最严格的生产要求进行了优化,允许高精度和高度自动化的关键流程功能,如曝光、对齐和分类。该系统还支持洁净室的特定功能，如KLA专有的转运车概念晶圆转移，这有助于减少过程中的污染。TENCOR FRJ单元还提供集成的计量能力，允许高精度和可重复的过程控制测量。这有助于快速准确地微调工艺参数，以降低风险，提高产量。这台机器非常可靠，易于维护，为操作员检查口罩和晶片提供了一种安全高效的方法。KLA FRJ CHANGER ASSY的转换时间短，配合其精确一致的操作，使得KLA FRJ CHANGER ASSY成为连续流生产口罩和晶片的理想解决方桉。