二手 KLA / TENCOR / HAMAMATSU R1617HA #200233 待售

KLA/TENCOR/HAMAMATSU R1617HA是一种高性能的掩模和晶片检测设备，设计用于检测以前无法检测到的缺陷和图样晶片上的污染。该系统结合了多种检查技术，为用户的生产过程提供了最大的灵活性和准确性。该单元提供了一整套检查技术，包括光掩模检查、晶片检查、临界尺寸（CD）测量和电气测试，以检测从掩模到成品晶片跨越多个级别的制造过程的缺陷。首先,该机器提供高级掩码检查功能。使用暗场光（DFL）和明场光（BFL）成像技术，工具可以区分光掩模上在常规照明下可见或不可见的缺陷。此外,背面检查发现掩模背面的细微缺陷,从而扩大了常规资产设计的覆盖范围。接下来,该模型提供精确的晶圆检测和分析.Critical Dimension （CD）检查检测和测量设计模式的精细细节,而一系列检查技术,如传输暗场、明场和光谱成像,使设备能够检测晶圆表面的各种缺陷。对于电气测试，该系统具有集成电路（IC）测试能力，在产品晶片上产生低缺陷密度。除了这些特性外,该单元还利用专门设计的元件来实现各种亚微米特性和光学薄膜结构,从而在广泛的应用中支持精度。此外，该机器还采用先进的光学和光源设计，能够在不影响吞吐量的情况下进行缺陷检测。为确保最大程度的可靠性和性能,KLA R1617HA采用高级电磁（EM）测试、振动和温度控制进行设计和制造,并利用强大的硬件/软件组件和工具管理流程。资产也是完全可扩展的,使其成为满足各种生产需求的通用解决方桉。综上所述,TENCOR R1617HA是一种功能强大的掩模和晶片检测模型,可提供精确的缺陷检测、精确的晶片CD测量和可靠的电气测试,用于各种制造过程。该设备将复杂的设计与严格的质量控制过程相结合,为先进的生产要求提供了可靠且经济高效的解决方桉。