二手 KLA / TENCOR / ICOS CI-T120 #293758434 待售
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KLA/TENCOR/ICOS CI-T120是一种掩模和晶圆检测设备,它结合了一套先进的检测技术来提供业界领先的成像功能。该系统使用数字计量学技术在光掩码、标线和晶圆级别捕获图样的详细图像。这样就可以在单个芯片上以及在全球范围内对这些设备进行精确的测量和检查。该单元配备了掩模和照片缺陷采集机(FPDS),利用电子束技术捕获和存储关于图样、缺陷和其他特征的信息。该工具还包含一个专有的模式识别软件和一个自动分析软件,使资产能够准确识别、测量和分类缺陷和特征。KLA CI T120检测模型增加了第4个图像采集阶段,能够高效、准确地检测每个模式内的高度密集特征和细节。它还具有增强的模式识别设备(PIS),以自动化模式识别、测量和分类过程。ICOS CI T 120系统还以更大的视场(FOV)支持多种晶圆尺寸,允许更大的过程吞吐量和更快的分析。ICOS CI-T120提供了多种高级功能,如晶圆图、粒子或缺陷捕获以及自动缺陷修复。它还包括高速数据处理功能,支持关键的时间敏感操作。最后,它的综合饱和扫描(ISS)功能确保了高模式密度的区域被正确的检查和检查。ICOS CI T120是一个先进、安全且功能强大的掩模和晶片检测单元,利用先进的成像技术提供卓越的精度和性能。适用于任何需要高精度检测的工业应用。
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