二手 KLA / TENCOR / ICOS CI-T130 #293596031 待售

KLA/TENCOR/ICOS CI-T130是一种用于半导体器件制造的掩模和晶圆检测设备。该系统为检查半导体晶片和掩模的表面缺陷、缺陷和其他可能影响晶片产量或可靠性的缺陷提供了可靠的手段。KLA CI-T130采用串行双光束光学成像装置，具有可变孔径光学机器和可变聚焦。这种技术组合提供了卓越的分辨率和可重复性，确保半导体掩模和晶片具有统一的外观和结构完整性。该工具还集成了多种技术,如自动聚焦、孔径和现场失真校正、立体声成像以及自动缺陷检测,以确保无缺陷晶片和掩码。ICOS CI-T130提供的其他功能包括可调节扫描范围以检查整个晶片、用于以低功耗模式检查的低电流低噪声模式、用于自动定心和缝合帧的智能摄像头资产、用于超规范运行的远程警报模型以及用于存储扫描、统计和掩码的计算机化设备。已对CI-T130进行测试和验证,以检查尺寸不超过4英寸的晶片和口罩,并对较小的晶片和口罩提供更高的分辨率和可靠性。其独特的设计和特点提供了一种高速可靠的检测半导体晶片和掩模的手段，每次都保证了高质量的产品。该系统是完全自动化的，这意味着不需要操作员干预或调整来检查晶片和口罩。TENCOR CI-T130旨在节省时间和金钱,同时提高产量,提供满足生产需求的有效方法。