二手 KLA / TENCOR / ICOS CI-T130 #293759470 待售

KLA/TENCOR/ICOS CI-T130掩模和晶片检测设备是一种高精度的视觉系统，旨在检测硅片生产中使用的晶片和掩模中的缺陷。采用基于KLA的非接触式CMOS应力测量检测技术和ICOS图像测量和缺陷分类算法检测和分析缺陷。KLA CI-T130提供了无与伦比的亚微米缺陷解决方法,使用户能够以惊人的精确度快速识别和隔离问题。ICOS CI-T130的分辨率是通过结合远心显微镜和CCD成像仪的多层成像技术实现的。这种组件组合提供了更好的景深,能够捕获详细的高清图像。此成像单元可进行调整,以快速测量缺陷的大小和形状,并在与TENCOR成像算法结合时提供集成的图像分析功能。该机支持广泛的成像和测量操作，包括缺陷检测、尺寸和形状测量、扫描能力、缺陷分类和过程适应。此外,TENCOR CI-T130能够表征多个亚微米级别的缺陷,包括薄膜厚度、蚀刻深度和轮廓形状。此工具还具有高级图像约束算法,可加快分析速度并缩短相机设置时间。为了提高灵活性,可以将CI-T130与其他系统（如自动搬运机械）集成,以简化生产并加快产品周转速度。此外,该资产的用户友好可视化检查软件可方便地访问各种可定制的工具集,从而使用户能够根据其特定应用程序定制设备。总体而言,KLA/TENCOR/ICOS CI-T130掩码和晶片检查模型处理高度可靠、准确的图像,以可靠的方式检测、隔离和分析无与伦比的分辨率缺陷。这种设备非常适合半导体、光电和其他工业应用，因为它允许用户根据自己的需要快速、轻松地修改系统。