二手 KLA / TENCOR / ICOS ICOS T830I #293652197 待售

KLA/TENCOR/ICOS KLA T830I是为高质量应用而设计的掩模和晶圆检测设备。该系统使用高分辨率光学传感器、快速数据采集以及一套用于高级分析的功能强大的软件。KLA/TENCOR/ICOS ICOS T830I装置利用1600万像素高灵敏度CCD阵列进行成像和检查，使人们能够清楚地看到低至1.75微米的特征。该机还具有高数值孔径（NA）和1.75微米的高横向分辨率,以确保高图像质量。此外，该工具还配备了一个物镜，对成像进行了优化，具有1.25的高数值光圈和12.98毫米的视场。KLA ICOS T830I的硬件包括多个阶段,从手动xyz阶段到具有视觉引导程序的自动化阶段,以及具有精确阶段对齐功能的闭环系统。资产还有一个获得专利的双轴倾斜模块，在检查时确保精确的晶圆对准。ICOS ICOS T830I使用来自ICOS的高级掩码和晶圆检查软件。该软件允许进行详细的图像分析、精确的特征识别和定制的检查程序。该软件利用机器学习算法自动识别缺陷，能够识别各种缺陷类型和缺陷类型。在使用TENCOR ICOS T830I时，用户可以从多种检查方法中进行选择，以获得最佳性能。这些方法包括手动检查、自动检查、统计过程控制、设计可测试性以及其他定制解决方桉。高性能硬件和高级软件的结合使ICOS T830I一种强大的掩码和晶圆检测模型。凭借其高分辨率和先进的软件能力，这款设备非常适合用于平板显示器、半导体、电子、医疗设备等行业。