二手 KLA / TENCOR INS 3000 / 3300 #9195887 待售

KLA / TENCOR INS 3000 / 3300
ID: 9195887
Wafer defect inspection system.
KLA/TENCOR INS 3000/3300是一种用于掩模和晶圆检测的自动化设备,是高级性能和一致性的黄金标准。它结合了3 D全场成像子系统的强大能力和2D晶圆和缺陷成像的灵活性,提供了一个全面的检测系统。KLA INS 3000/3300利用最新的高分辨率成像和检查技术,在宏观和微观尺度上捕捉缺陷和晶圆地形的高分辨率图像。这样可以在检查微电子元件和控制晶圆几何形状时获得更高的精度和准确性。自动晶圆扫描还利用高速数控技术,确保精确测量和高吞吐量速率。3 D成像子系统捕获晶圆地形和缺陷位置的精确3 D重建。这与KLA专有晶片对准单元相结合,在缺陷定位上达到亚微米精度。详细检查了该机的成像数据是否存在缺陷,并将其与库参考标准进行了比较。这个工具允许显微镜级的缺陷在大晶圆区域的分辨率。2D缺陷成像资产能够在纳米级对缺陷及其相关特征进行高精度评估。此成像模型可实现无与伦比的分辨率和缺陷可见性,检测级别远低于10nm。TENCOR INS 3000/3300口罩和晶圆检测设备是业界领先的系统之一。它提供各种成像和缺陷检测功能,为客户提供卓越的性能和准确性。它提供了最高质量的结果,并消除了昂贵的人工抽样和检查。它是很多行业研发和大批量生产的理想选择。
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