二手 KLA / TENCOR INS 3000 #9358651 待售

KLA/TENCOR INS 3000是一种为半导体工业设计的掩模和晶圆检测设备,用于快速分析和收集有关设备模式和其他需要审查的详细特征的数据。该系统由四个主要子系统组成，包括光学检测单元、图像采集机、图像和数据处理工具以及数据分析软件包。光学检测资产包括一组物镜和一个双波长激光二极管，用于检测、分析和测量集成电路图样的顶面。红外激光波长用于提高分辨率，可见波长提供芯片表面图样的精确成像。图像采集模型获取设备和图样的数字图像，并以数字格式存储。高分辨率成像设备设计用于高精度地捕获和存储图样的详细图像。图像和数据处理系统用于分析已获得的用于分析和处理的数据。该单元通常包括CPU、图像和模式识别系统以及数字信号处理系统等硬件组件。软件包包含特定于应用程序的软件程序,用于高精度分析和显示设备模式及其他详细功能。它包括可根据特定要求定制的软件。软件包还提供数据分析和统计工具。KLA INS 3000为掩模和晶圆检测提供了集成环境。其通用的设计和先进的技术为检测和分析设备模式和数据提供了高速度和准确性。广泛应用于半导体工业中，用于缺陷识别、器件表征、粒子检测、配位测量、计量等广泛应用。