二手KLA / TENCOR / INSPEX(晶圆检测)待售

KLA Corporation，原名KLA-Tencor，是半导体行业先进工艺控制和产量管理解决方桉的领先制造商。他们的INSPEX系列掩模和晶片检测设备为确保半导体掩模和晶片的质量和完整性提供了全面可靠的解决方桉。KLA的INSPEX系统采用先进的光学技术和算法来准确检测和分类掩模和晶片上的缺陷。这些单元配备了高分辨率成像能力，使它们能够捕获样品的详细图像，分析数据，并识别任何异常或缺陷。它们提供快速可靠的检验结果，帮助半导体制造商提高产量，降低生产成本。KLA产生的类似物之一是TPC 8520系统。它设计用于对先进光刻工艺中使用的临界掩模进行高速检查。TPC 8520提供出色的缺陷检测灵敏度,同时保持较低的错误检测率,确保高检测质量。又如Eagle系统，针对晶圆检测进行了优化。Eagle提供准确、高通量的缺陷检测，能够检测各种缺陷类型，如颗粒、划痕和图样偏差。适用于前端和后端半导体工艺。EX 3500是KLA提供的另一套口罩检查系统。它采用先进的深紫外线（DUV）成像技术,能够精确可靠地检测和分类缺陷。EX 3500能够检查各种掩码类型，包括二进制掩码、嵌入式衰减相移掩码（EAPSM）和交替孔径相移掩码（Alt-PSM）。总体而言,KLA的INSPEX掩模和晶圆检测机为半导体制造商提供了最先进的解决方桉,使他们能够确保产品的质量和可靠性,提高产量并降低生产成本。