二手 KLA / TENCOR LWS 3000 CFI #293608931 待售

KLA/TENCOR LWS 3000 CFI是一种配备计算机的掩模和晶圆检测设备，设计用于各种半导体生产工艺。该系统由一个主检测工具、一个高速、高分辨率成像单元、一个高速成像和运动控制子系统、一个集成视觉子系统以及一系列显示、分析和计量工具组成。KLA LWS 3000 CFI的主要功能是检查不透明和透明物体如掩模、晶片和其他光掩模的精细和超细线分辨率图像。该机具有测量和比较极小物体和特征的能力，具有亚微米精度。这样可以实现极高级别的缺陷检测、缺陷解决和吞吐量。高速成像工具采用多通道激光干涉测量和多波长电探测相位、偏振和色差成像。这提供了特征高度、宽度、深度、倾斜和z web的实时3D、断层扫描和干涉测量。运动控制子系统提供跟踪和校正微米级小运动的能力。这保证了优越的结果在困难的缺陷，如光饱和度和线桥差分。集成视觉子系统结合了数字成像和复杂算法，以确保缺陷定位精度和可靠的重复性。一系列专有软件工具提供了多种功能,包括信号处理、自动检查和分类、缺陷标记、地图扩展、图像搜索、后处理、度量和报告生成。这大大增强了TENCOR LWS 3000 CFI的成像和计量能力。LWS 3000 CFI是一种用于半导体生产过程的先进工具,它为小批量批量生产和大批量生产需求提供了卓越的效果。该资产非常适合于具有极高精度、缺陷分辨率和吞吐量的掩码和晶圆检查。