二手 KLA / TENCOR P30 #293640029 待售

KLA/TENCOR P 30是一种顶级的掩模和晶片检测设备,旨在提供灵活、精确的晶片和掩模板检测。KLA P 30结合全自动晶片分级、晶片分割和掩模注册，实现一流的检测性能，使制造商能够准确识别任意高度或宽度小至20纳米的图样。在晶片检测方面，TENCOR P 30配备了自动晶片分级箱（AWS）、晶片分割和晶片注册，用于晶片与检测系统的精确对准。AWS确保每个晶片都能准确定位并准备好进行检查,而晶片分割允许对晶片进行快速分析,从而降低用户的总体生产成本。晶片注册实质上将晶片的特征映射到检查单元，使其能够准确识别特定特征。P30还具有业界领先的口罩检测机（MIS）,旨在快速检测高级口罩中的缺陷并跟踪这些缺陷的大小和位置。这种健壮的MIS使用户能够使用多种模式和波长的光精确检查空白和有图桉的掩码。该工具支持多种照明技术来识别甚至最微妙的缺陷，如亮场、暗场、偏振和干涉技术。KLA/TENCOR P 30还通过其"图像合并分析"实现了即时处理,使用户能够快速地在图像前后进行比较,而最短的额外等待时间。最后,KLA P 30的报告工具为晶圆和掩模检查提供了高效的缺陷分析报告。特别是,自动测试报告生成器只需几秒钟即可生成可定制的报告,详细说明所有适用的测试、样本数据和结果。此外,还提供HTML和PDF格式的报告,以便于访问和包含在其他文档中。TENCOR P 30是一种功能强大的工具,能够在单个软件包中提供可靠的结果、快速的分析和全面的可追踪性。无论检查晶片还是掩模,P30都重新定义质量保证过程,并提供无与伦比的缺陷管理功能以确保准确性。