二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 2138 XP #121998 待售

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ID: 121998
晶圆大小: 8"
优质的: 1998
In-line patterned wafer inspection system, 8", 1998 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 2138 XP是一种掩模和晶圆检测设备,旨在方便半导体器件的生产。该系统允许检测多个掩码和晶片上的严重缺陷,以确保设备的最高质量。该单元包括高性能相机、4通道激光衍射技术、集成模式识别和成像探针。KLA 2138 XP还附带了一个全面的软件套件,提供精确的掩模和晶圆检查所需的灵活性和准确性。TENCOR 2138 XP利用单摄像头来捕捉蒙版和晶片的影像。摄像机头由一个数字图像传感器和光学器件组成,这些传感器和光学器件可自动根据所检查样品的放大倍数进行调整。这样既可以实现小特征的高分辨率,又可以实现大特征的低放大倍率。高分辨率图像使用户能够以无与伦比的精度检查纳米级特征。机器中使用的4通道激光衍射技术提供了非凡的检测灵敏度。4通道激光衍射利用多个激光束检测掩模和晶圆上的微小缺陷。该工具将多个激光束图像一起处理,从而产生比单个光束资产高得多的灵敏度。2138 XP强大的模式识别功能使该模型能够轻松识别和区分关键缺陷和非关键缺陷。此外,与设备集成的高级成像探测器提供了广泛的成像功能。这些功能包括背面成像、表面纹理分析和反向色调检查。PROMETRIX 2138 XP的成像探针对表面纹理和背面图桉质量提供了极为精确的分析。KLA/TENCOR/PROMETRIX 2138 XP还包括一个全面的软件套件,其中包括用于执行各种掩码和晶圆检查任务的一系列功能强大且灵活的工具。该软件提供了缺陷检测和分类、自动掩码注册和缺陷分类等工具。此外,该软件还提供用户友好的菜单和界面,使用户能够轻松浏览系统的复杂性。KLA 2138 XP为掩模和晶片提供了最高水平的缺陷检测精度和覆盖范围。其高分辨率相机、4通道激光衍射技术和集成模式识别与成像探针,结合其综合软件套件,为用户提供了保证其半导体器件最高质量水平所需的工具。
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