二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 2138 XP #9004619 待售

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ID: 9004619
晶圆大小: 6"-8"
优质的: 2006
Wafer inspection system, 8" (6" applicable) Pixel SIzes: 0.25, 0.62, 0.39, 1.25 Operating System: Windows NT AutoSAT ADC: NA (additional cost) MM2 Automation: GEM/SECS Handler (2) Port Open Cassette 2006 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 2138 XP是为最严格的关键应用而设计的高端掩模和晶圆检测设备。它具有卓越的光学、机械设计和电子设计,可提供更高的吞吐量、更好的分辨率和更全面的晶圆分析。该系统旨在满足半导体行业严格的制造要求,是检查最具挑战性的掩模和微电子器件的理想解决方桉。KLA 2138 XP具有溷合光学机械单元,可进行详细的粒子分析和快速的性能。光学机器包括一个二向色镜,它从不同的方向性输入以及全胶片和亚微米成像技术中透射和反射光。镜子能够从晶圆的正面和背面捕捉光,从而实现缺陷的精确三维图像。它还突出显示了最微弱的缺陷,使它们在图像中易于识别。TENCOR 2138 XP的机械架构设计既能快速准确地检查大小区域。其高吞吐量能力和精密的控制使其非常适合于大容量校正屏蔽和电路上的关键缺陷。它具有高灵敏度,敏感面积可达8.5 µm,延伸范围可达15 µm。总体而言,它可以每小时检查多达1,000个晶圆,比其他系统具有显着的效率优势。该工具还集成了最新的高分辨率电子成像技术,以检测甚至最微小的缺陷。电子成像资产与光学机械检测模型无缝集成,提供了广阔的视野、高检测精度和广泛的有用分析特征。总而言之,2138 XP为半导体行业提供了优越的掩模和晶圆检测能力。其最先进的光学、机械和电子成像技术提供了速度、精度和可靠性,使其成为检查当今最复杂的微电子设备的理想选择。
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