二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 2138 XP #9153008 待售

KLA / TENCOR / PROMETRIX 2138 XP
ID: 9153008
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 2138 XP是一种用于检查光掩模和晶片上的关键模式缺陷的掩模和晶片检测设备。该系统利用先进的电子束(电子束)检测技术来分析设备的图像,并识别出纳米尺度上的任何缺陷。该单元可以检测缺失线路、短路、开路、底切特征和线宽等可能的误差。KLA 2138 XP由三个主要组件组成:电子束设备、成像和分析。电子束设备负责扫描设备表面并生成其表面图像。然后,成像机将获取这些电子光束图像,并使用高级算法对其进行处理,以识别和分析设备上的任何缺陷。分析工具随后获取分析结果,并应用各种高级算法来确定缺陷的位置、大小和类别。所有这些分析都是实时完成的,以确保任何可能的缺陷被检测和准确分析。TENCOR 2138 XP使用大型高精度电子束,以几个不同的角度和距离扫描设备,以确保全覆盖。这样可以提供更精确的图像,然后使用高级算法分析缺陷。它可以扫描小至0.2微米的表面,确保检测和分析所有可能的缺陷。然后,成像资产利用其高分辨率摄像机捕获设备的图像,并将这些图像转换为有用的数据点。分析模型随后获取这些数据点并应用各种算法来确定发现的任何缺陷的大小和位置。它还可以检测和区分重迭区域,从而在识别任何缺陷时提供更好的准确性。分析设备还允许用户设置自定义参数,如缺陷大小和形状,以便获得更好、更准确的结果。PROMETRIX 2138 XP设计为可靠、高效、精确的掩码和晶圆检测系统。利用先进的电子束检测技术和先进的分析单元,确保准确的缺陷分析和检测。其先进的分析功能使其能够产生可靠的结果,即使在极小的曲面上也是如此,而且其用户友好的界面使其易于操作。最后,它的模块化设计让用户可以方便地为特定的应用升级和定制机器。
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