二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 2138 XP #9229839 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 2138 XP是一种高速光学掩模和晶圆检测设备，可以测量半导体制造过程中的关键器件参数。该系统旨在检测半导体器件中的潜在缺陷，确保保持质量和可靠性水平。它检查高达8英寸直径的晶片和基材，并以高达每小时2000晶片（WPH）的高速运行。KLA 2138 XP具有独特的4列设计，允许两个独立的通道和两个同时的检测站点。这样就可以捕获至少两倍的图像（每小时160,000张图像），而不是其他传统的掩模检查系统。此外，两个平行的检测点使得该单元非常适合并排的过程比较，如那些需要在光刻或植入比较。机器有多个传感器来监视检查过程的每个步骤。这包括先进的线缘粗糙度（LER）传感器、干涉仪、伽马射线和波前感测。每个传感器都测量检测、分类和纠正缺陷所必需的不同属性。TENCOR 2138 XP还使用缺陷全局增强（DGE） （Defect Global Enhancement） （DGE）这一先进的专有算法快速检测大大小小的缺陷。利用其创新的设计，DGE算法可以从晶圆背景中解析出小粒子，识别无缺陷信号处理中的缺陷。该工具具有各种软件包,使其能够检查大多数类型的基板-如Solar、MEMS、LCD和OLED设备-并以亚微米分辨率提供详细的结果。它还配有集成的3-D补偿技术，可以调整和校正图像，以确保精度和精确度。最后,资产配备了安全的文件系统,允许基于凭据的安全存储和数据保护。总体而言,PROMETRIX 2138 XP是一种功能强大且可靠的掩模和晶圆检测模型,旨在以惊人的精度和速度检查最优秀的半导体器件。凭借其先进的传感器、专有算法和安全的数据保护,此设备是任何希望确保一流质量和可靠性的半导体铸造厂的绝佳选择。