二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX INS 3300 #9206058 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX INS 3300是为先进半导体制造而设计的掩模和晶圆检测设备。它是一个高分辨率的系统，结合了先进的光学成像单元和先进的计量机。它具有晶片级和模具级检测的能力，可以检测各种基板上的各种缺陷。光学成像工具由高分辨率CCD相机和强大的光谱成像资产组成。CCD相机允许对硅、金属、聚合物等不同基板进行精确成像。光学成像模型可以检测到多种缺陷，如划痕、碎片包围的划痕、粒子和线宽偏差。在计量方面，KLA INS 3300利用自动点源对准设备，准确快速地测量线宽、迭加和灵敏度等关键参数。该系统还可用于无损深度剖面测量、介电常数测量和临界尺寸测量。该单元还配备了先进的软件包，允许自动检查晶圆和模具级缺陷。该软件可以检测线宽变化、粒子和碎片以及迭加误差等缺陷。它还可以通过线缘剖面和侧壁角度测量检测桥接缺陷。总体而言，TENCOR INS 3300是为现代半导体制造而设计的先进的掩模和晶圆检测机。其光学成像和计量系统的结合为设备检查提供了无与伦比的精度和精确度。此外,其强大的软件包允许自动检测缺陷,从而确保所有基材类型的产量最高。