二手 KLA / TENCOR RS-200 #9157130 待售

KLA/TENCOR RS-200掩模和晶片检测设备是一种精密、高精度的半导体制造工具，用于检测缺陷并确保微芯片的质量。该系统结合了先进的光学和专有算法，精确测量和分析极小晶片和掩模上的小特征。该单元的主要部件包括扫描仪、成像机、光源以及连续和脉冲晶片读取支持。扫描仪负责将显微镜臂引导至经过晶圆或掩模检查的每个特征的精确坐标。成像工具使用高级算法处理扫描仪捕获的原始图像,以消除误报并解释数据。最后,光源确保晶片和掩模的照明正确.这对于查看否则很难看到的更精细的特征特别重要。KLA RS-200还具有强大但易于使用的界面,可控制检查参数,如扫描速度、行业标准、缺陷参数、缺陷大小、噪声级别等。这样,操作员就可以轻松定制资产以满足其特定需求,从而能够在最短的停机时间内快速检查不同的晶圆和掩码。TENCOR RS-200在检测缺陷、测量间隙和检查关键尺寸方面拥有目前市场上可用的最高分辨率。它可以检测到4nm以下的微小缺陷,从而确保生产的最高质量。该模型还提供了广泛的景深，覆盖了单个图像的大视觉区域，以及高水平的自动化，让用户一口气检查几十个晶圆和蒙版。总体而言，RS-200是扫描和分析晶片和掩模的高精度和精确度的绝佳工具。凭借先进的光学技术、复杂的算法和易于使用的界面,它为制造商提供了一种高效、可靠且经济高效的微芯片检测解决方桉。