二手 KLA / TENCOR SCD 100 #9042769 待售
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ID: 9042769
Film thickness measurement system, 8" and 12"
Model: Spectra FX 100 GEN4
SWE
Software version: 4.9
Stress option
CD option
2005 vintage.
KLA/TENCOR SCD 100是业界领先的口罩和晶圆检测设备。它旨在提高半导体器件检测的准确性和速度。该系统配备了两个具有高分辨率光学检测系统的摄像头,实现晶圆和掩模检测操作。它还具有一个自动照明单元,以获得均匀的光覆盖。晶圆检查相机具有50 MP的分辨率,提供了高度详细的成像能力。它具有高精度的三维晶片检测单元,即使是最轻微的缺陷检测也提供了无与伦比的精度。它还有一个热管理机器,以确保刀具的稳定性和减少热循环时间。此外,KLA SCD 100符合Industry 4.0的要求,允许它与其他生产机器进行通信,以实现高效的数据交换和生产过程的协调。在口罩检查方面,TENCOR SCD 100能够产生10 MP分辨率的图像。该资产还具有高对比度缺陷检测算法,使其能够分析具有均匀和非均匀背景的图像。而且,模型有一个复杂的算法来检测即使是最小的错误在掩码元素。它还可用于验证和重新验证目的,从而使最终产品的精度控制更加容易。此外,SCD 100具有稳健的缺陷分类能力。它可以利用亮场技术区分图像中的各种类型的缺陷,以及暗场和偏振成像。该设备还可以利用傅立叶分析和模式识别技术来识别模式和区分各种类型的缺陷。再者,系统可以输出多种格式的数据,如XML、JSON和PDF,方便数据分析。最后,KLA/TENCOR SCD 100的设计考虑了用户友好性。它具有图形用户界面,便于访问和控制设备。而且该机具有21.5英寸的大显示屏,为用户提供了方便的定位、检查和检查各种信息。它还有一个30度可倾斜工作台,允许舒适的工作角度。此外,该工具非常可靠,需要最少的维护,因此非常适合长期操作。
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