二手 KLA / TENCOR SCD-XT #293766657 待售

KLA/TENCOR SCD-XT是专门为确保电子器件制造生产阶段的质量控制而设计的掩模和晶圆检测设备。它利用高分辨率临界尺寸（CD）和电阻率测量来检测掩模和晶圆技术的过程异常。该系统结合了可编程实时单元（PRT）和自动检测软件。该机器有一个装有1.2纳米分辨率编码器、精密光学器件的PRT工具，以及一个自动定位口罩和晶片板在指定位置进行检查的检查阶段。这是使用二维头部定位资产实现的，该资产使象限能够被映射，以便准确定位和检查样品的方向。此外,激光二极管照明器可在舞台上提供均匀的背光照明,确保增强缺陷检测。该模型利用先进的多传感器检测技术和数据采集设备，对掩模和晶片进行了同步检测，并提供了潜伏（隐形）缺陷位置的详细报告。此报告有助于诊断在处理过程中可能无意中添加或遗漏的任何错误模式,这些错误模式可能导致下游的产品错误或其他问题。掩模检测工具和晶圆检测工具是KLA SCD-XT系统的两个关键功能组件。"掩码检查工具"用于检测缺陷、监视过程稳定性和识别照片掩码中的异常。它测量空气间隙、线宽、线长以及生产面罩级别的其他特征。晶圆检查工具用于检测和定位电阻率缺陷,如顶部表面线打开/短裤和背面表面打开/短裤。除了准则核查和统计分析外，它还使用自动程序在处理过程中检测异常。晶圆检测工具还确定极性以及焊盘区域模式中的电线数量,并具有灵活的电线布线配置。TENCOR SCD-XT系统配备了精密的用户界面，便于测试结果的设计和分析。可以通过高级数据记录功能访问数据。将缺陷库和屈服分析等用户友好的分析工具集成到单元中，从而可以方便地访问和详细了解数据。SCD-XT机器为掩模和晶片生产提供了一个高度精确、灵活和经济高效的解决方桉,同时确保了一个强调质量、可靠性和安全性的环境。它能够解决影响总体生产率的复杂问题,并为质量控制和可靠性测试提供必要的工具。