二手 KLA / TENCOR SCD-XT #9220981 待售

KLA/TENCOR SCD-XT是利用成像和计量技术分析半导体材料的掩模和晶圆检测设备。该系统旨在通过提供有关接触宽度、尺寸和迭加精度等几何形状的准确和可重复的测量数据,增强过程控制并缩短周期时间。KLA SCD-XT是一个先进的检验单位，利用成像和计量技术相结合，提供高精度的结果。机器的核心是提供样品表面高分辨率图像的场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）。此图像随后由计量软件进行分析,该软件使用多种算法来计算几何值,例如接触宽度和通过大小。该工具还提供了一系列成像选项，如激光干涉测量和彩色共聚焦显微镜，可进一步了解结构/表面特性。TENCOR SCD-XT还提供了一系列自动测量工具,以便在测量几何形状时获得更高的精度。这些工具包括启用图像的缝合和掩码对齐、盲拟合迭加算法和过程屈服分析,以最大程度地减少错误缺陷并优化屈服。此功能使用户能够快速准确地识别和解决流程问题,从而提高设备性能并缩短周期。SCD-XT还提供直观且用户友好的操作员界面。该资产提供了几种用户友好的功能,例如高级图像分析功能、自动化和优化,以及大量标准配方库。此外,该模型完全可定制,并提供各种插件选项,以扩展设备性能和分析功能,使其成为满足所有检查需求的理想解决方桉。总之，KLA/TENCOR SCD-XT是一种结合最新成像和计量技术，提供可靠和可重复结果的专门检测系统。它提供高精度的测量、自动化的测量工具、直观的用户界面和一系列自定义选项。这使得KLA SCD-XT成为寻找可靠、准确和经济高效的检测单元的任何用户的理想选择。