二手 KLA / TENCOR SCD-XT #9228108 待售

KLA/TENCOR SCD-XT是一种掩模和晶片检测设备，设计用于精确可靠地检测直径达450mm的光掩模和晶片。该系统利用明亮光源和暗光源的组合，以及基于图样的照明来精确检测小至十分之一微米的缺陷。设备可以检测边缘放置错误、线宽和形状缺陷,以及蒙版和晶片上的各种其他缺陷类型。它能够同时检测多达八种不同类型的缺陷。KLA SCD-XT机由一个检查头组成，提供光场照明和基于图样的照明，以及一系列光学元件和信号处理电子设备。该工具有一个高分辨率CCD摄像机，它捕获遮罩或晶片上的层和图样的光信号。然后将摄像机连接到图像处理单元,该单元处理信号以检测缺陷。检查数据存储在内部数据库中，用户可以通过触摸按钮来回忆存储的检查数据。TENCOR SCD-XT资产包括一整套软件,从基本的Inspector Suites到强大的Vision Studio Suites,用户可以检查工厂中任何型号的图像。SCD-XT具有许多功能,允许用户定制设备以满足其特定应用程序的需求。该系统采用花岗岩稳定结构技术，提供无震检测。这样,即使在生产环境中,用户也可以执行高精度检查。该单元还提供各种空间过滤技术，允许用户实时分析图像数据，以及为扩展功能增加一个额外的探测器头的选项。KLA/TENCOR SCD-XT机设计可靠易用。直观的软件界面使用户能够轻松地快速导航和设置检查。该工具还具有高度可定制性,允许用户根据自己的特定需求自定义资产,甚至添加其他组件以增加模型的功能。总体而言,KLA SCD-XT是一种可靠而强大的设备,可以精确检查直径不超过450mm的光掩模和晶片。该系统利用亮场照明、基于图样的照明以及许多其他特征来精确检测小至十分之一微米的缺陷。该单元还具有高度可定制和直观的使用能力,使用户能够快速轻松地设置检查和召回存储的数据。